PNG  IHDR:PLTEU~IDATxA0 ހ27`qJ!3; 5mId2xڥ/6x9V1L&̌6[d2L7 3-:&d2d2L?Ո_.Idnc2L&bd2LmβUc|L&d^3 mǷ?L&d>1ҧU ooL&|f>!n/y&d2[K;pޅ7d2[ƽ?=K>L&d^5倇X0d2W=vs׎d2̿K׸L&|fGb`Fig3&d2oJxLif2L&b/9;d2[fmFmd2Lc:VSd2LmJ]{t&d2okNZjCvޘL&ɼnuƦ4d2g2nϭ5^tL&d~ͬ.}1L&Es@zW,3a2L&9hzd2L̔ymȲ$)d2wLE+TIENDB`